真空等離子清洗機(jī)（設(shè)備）的維護(hù)保養(yǎng)

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-04-18

在等離子清洗機(jī)在使用中，會(huì)遇到清洗達(dá)不到要求、設(shè)備本身故障率異常等問題。如何保證等離子清洗機(jī)在生產(chǎn)中能夠達(dá)到工藝要求，同時(shí)保證設(shè)備的正常穩(wěn)定運(yùn)行，等離子清洗設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)至關(guān)重要。

在實(shí)際生產(chǎn)中，我們發(fā)現(xiàn)等離子清洗機(jī)一些重要的部件會(huì)隨著使用時(shí)間的推移產(chǎn)生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會(huì)是引起等離子清洗設(shè)備達(dá)不到清洗效果的原因，例如反應(yīng)腔、電極、托盤架、氣體的壓力等。以下介紹了幾個(gè)關(guān)鍵部位保養(yǎng)前后的效果以及如何進(jìn)行保養(yǎng)。

等離子清洗機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)

在保養(yǎng)和維修的過程中，一方面，要做好日常檢查，考慮到等離子清洗機(jī)靠電力掣動(dòng)，因此，必須加強(qiáng)對(duì)電氣安全性的檢查，重點(diǎn)查看線路是否存在破損和老化的情況。檢查電箱內(nèi)繼電器在閉合或斷開時(shí)是否有打火花。

另一方面等離子清洗機(jī)在運(yùn)行的過程中部分構(gòu)件受各種因素影響，在開展預(yù)防性基本規(guī)程時(shí)，首先，相關(guān)操作人員要做好設(shè)備的清潔管理工作。

等離子反應(yīng)腔體清潔

等離子清洗時(shí)產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級(jí)別，會(huì)隨著真空泵排除。但也會(huì)有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會(huì)附著在腔壁、電極和托盤架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴(yán)重。
對(duì)于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機(jī)將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭

電極與托盤架的保養(yǎng)翻新

托板架和電極長(zhǎng)時(shí)間使用后會(huì)附著氧化層，同時(shí)采用等離子體處理烴基材料時(shí)，一段時(shí)間后在托板架、電極，上會(huì)積累一層薄的烴基殘留物，這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應(yīng)依據(jù)附著物的量對(duì)電極、托板架進(jìn)行翻新維護(hù)能保證清洗的穩(wěn)定。

清洗材料要求：氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。注意：不要使用手磨機(jī)、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機(jī)械方法清潔；氫氧化鈉溶液會(huì)與鋁發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)，應(yīng)小心謹(jǐn)慎以確保僅在所需的時(shí)間內(nèi)清除沉積物；反應(yīng)中會(huì)生成具有潛在爆炸性的氫氣，因此工作區(qū)域應(yīng)保持良好的通風(fēng)。

電極的清潔翻新步驟
（1）切斷電源并取下接地電極。（留意每個(gè)電極的初始位置，使它們?cè)诒磺鍧嵑竽軌虬惭b在原來相同的位置上）；
（2）在室溫下將拆下的電極沉浸在10%的氫氧化鈉溶液內(nèi)。在沉浸時(shí)每2min檢查電極一次，直到徹底除去殘留物。實(shí)際清潔時(shí)間取決于積累在每個(gè)電極上的殘留物數(shù)量。
（3）用城市用水徹底沖洗電極3分鐘。
（4）將電極浸在硫酸和水（按重量為5%）的溶液中一分鐘（不能干燥）后，立即進(jìn)入下一步操作（這一步主要去除氧化層，干燥以后氧化層會(huì)再次附著，難以沖洗）。
（5）用蒸餾水沖洗電極兩次，每次3min。
（6）使電極徹底干燥。
（7）將電極安裝在與原先的位置，如必要，更換絕緣體。

配件和軟管檢查

檢查配件是否松動(dòng)，檢查軟管是否磨損或破裂。

真空泵油過濾器

檢查機(jī)油濾清器，如果臟了或被油堵塞，請(qǐng)更換。

真空檢查

檢查腔室壓力并記錄值，如果壓力比前一天變化超過5%，調(diào)查泄漏。

氣壓檢查

檢查反應(yīng)氣體的氣壓，在0.1~0.2MBa之間。
檢查壓縮空氣的氣壓，在0.5~0.8MBa之間。

射頻等離子發(fā)生器

定期檢查設(shè)備背面是否有灰塵或腐蝕，吸出任何灰塵、污垢、污染物。如果發(fā)現(xiàn)腐蝕，清潔該區(qū)域并檢查是否有泄漏。

如果不對(duì)等離子清洗機(jī)的日常維護(hù)工作予以重視，對(duì)可能出現(xiàn)故障的部位予以維護(hù)，就會(huì)導(dǎo)致設(shè)備的故障發(fā)生概率增加，設(shè)備壽命縮短。因此，為了保障等離子清洗機(jī)始終處于最佳的狀態(tài)下，發(fā)揮出最大的清洗功效，使用單位需要對(duì)等離子清洗機(jī)進(jìn)行定期、不定期的檢修，對(duì)重要設(shè)備結(jié)構(gòu)進(jìn)行定期維護(hù)，降低構(gòu)件的日常損耗，及時(shí)更新?lián)p耗配件，確保破損構(gòu)建不會(huì)損壞其他零部件，降低故障發(fā)生的風(fēng)險(xiǎn)，保障施工項(xiàng)目能夠順利進(jìn)行。另一方面，還要加強(qiáng)度日常養(yǎng)護(hù)維修工作的記錄檔案管理。通過更精細(xì)的建檔工作，保證相關(guān)技術(shù)操作人員能夠及時(shí)調(diào)取設(shè)備相關(guān)信息，確保日常預(yù)防性養(yǎng)護(hù)和維修工作的時(shí)效性，保證常規(guī)運(yùn)行的可靠性、精確性和穩(wěn)定性，延長(zhǎng)等離子清洗機(jī)的使用壽命。